Calentamiento por inducción grafito Susceptor

Calefacción Susceptor de grafito

Objetivo

Para calentar un susceptor de grafito a 1100 ° C en atmósfera inerte de nitrógeno e hidrógeno. El susceptor debe ser utilizado para experimentos de crecimiento de óxido de metal vapor químico deposición (MOCVD) cristal. Verificación de la temperatura alcanzada es fundamental.
Material grafito Susceptor mide 3 pulgadas de diámetro y espesor de 1 1/4″.
Temperatura de 1100 ° C
Frecuencia kHz 171
Energía del equipo de fuente de alimentación de la inducción de 30KW estado sólido incluyendo uno 1 estación de calor remoto que contiene dos 2 1.0 μF condensadores y un transformador de alta tensión y un cuatro 4 Gire la bobina helicoidal con un 5″ dentro de diámetro y una longitud de 1 1/2″.
Proceso el poder de la fuente de alimentación de inducción 30KW estado sólido con un cuatro 4 Gire la bobina helicoidal y un pirómetro óptico IR de dos colores se utilizaron para lograr los siguientes resultados:
Se llegó a resultados • 1100 ° C en 5 cinco minutos como lectura de pirómetro óptico bicolor IR.
• Un patrón de calor incluso observó.

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